無塵烘箱,不銹鋼無塵烤箱無塵等級:Class 100、10; 溫度范圍:RT+10~300℃;用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤
無塵烤箱特點
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
3.采平面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng),風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經(jīng)電熱器,將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),優(yōu)良的溫度控制精度。
無塵烤箱應用
用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
技術指標
無塵等級:Class 100、10;
溫度范圍:RT+10~300℃;
溫度均勻度:±2℃;
溫度波動度:±0.5℃(空載)
溫控精度:±0.1℃;
工作室尺寸:W1600×D1600×H1000(mm) (可定做)
電源:380v , 50Hz,6KW
網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))
維護保養(yǎng)
1. 檢查通風口是否堵塞,并清理積塵。
2. 風機運轉是否正常。
3. 維修工檢查電流是否正常。
4. 檢查溫控器是否準確,如不準確,請調(diào)整溫控器的靜態(tài)補償或傳感器修正值。
5. 檢查發(fā)熱管有無損壞,線路是否老化。
6. 檢查延時器是否準確,誤差是否允許。