全國(guó)統(tǒng)一熱線(xiàn):
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晶圓烘箱,晶圓制程烤箱烤箱用于晶圓、半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
晶圓烘箱,晶圓制程烤箱用途:
晶圓烘箱,晶圓制程烤箱烤箱用于晶圓、半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
特點(diǎn):
在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100;
全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過(guò)濾效率99.99%,Class 100;
強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式,雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到高精度溫度控制精度。
技術(shù)參數(shù):
無(wú)塵等級(jí):Class 100;
溫度范圍:RT+10~200、300℃;
溫度均勻度:±2℃;
溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載);
溫控精度:±0.1℃;
進(jìn)風(fēng)口:φ6mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制;
排風(fēng)口: φ3”排風(fēng)管;
工作室尺寸:W1500×D1000×H1400(mm);可選擇
電源:380v , 50Hz,15KW;
網(wǎng)板:5層;
潔凈度:100級(jí)的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對(duì)流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。
控制器:彩色觸摸屏;
顯示器:3.5英寸TFT彩色LCD顯示器;
輸出方式:PID控制輸出;
運(yùn)行方式:程序方式、定值方式;
耐高溫高效空氣過(guò)濾器(HEPA)
過(guò)濾效率:≥99.99%;
完善的安全保護(hù)措施:
漏電斷路器、控制線(xiàn)路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置(上限220℃)、 電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、 反向保護(hù)裝置、內(nèi)襯防火材料、機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器、門(mén)面安全開(kāi)關(guān)。