硅片充氮烘箱，可程式充氮烤箱概述

硅片充氮烘箱，半導(dǎo)體充氮烤箱?是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)。烘箱工作室為光亮型全不銹鋼結(jié)構(gòu)。工作室內(nèi)溫度采用智能式數(shù)顯溫度控制儀進(jìn)行自動(dòng)控制P.I.D調(diào)節(jié),數(shù)顯時(shí)間控制,并設(shè)有斷路及超溫報(bào)警,操作方便,使用安全。 充氮烤箱可滿足電子電器、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達(dá)350℃-400℃并且可加裝氮?dú)膺M(jìn)出口。

硅片充氮烘箱，可程式充氮烤箱用途

潔凈烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

技術(shù)參數(shù)

Ø  內(nèi)箱分層：根據(jù)箱體內(nèi)部大小而定

Ø  溫度范圍：RT＋10℃～250℃。

Ø  溫度波動(dòng)：<±1℃。

Ø  溫度均勻：±2%（空載測(cè)試）。

Ø  溫控裝置：高精度P.I.D智能溫控儀表， LED數(shù)字顯示及設(shè)定、P.I.D自動(dòng)演算、時(shí)間定時(shí)。

Ø  溫控輸出：SSR輸出，品牌繼電器，固態(tài)繼電器。                   

Ø  測(cè)溫裝置：PT100 鉑 電阻溫度傳感裝置，測(cè)溫精確。

Ø  內(nèi)室材料：采用無(wú)磁性不銹鋼；外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE) 。

Ø  保溫材料：玻璃纖維。

Ø  保護(hù)裝置：超溫保護(hù)器，無(wú)熔絲開關(guān)。

Ø  流 量 計(jì)：氮?dú)廪D(zhuǎn)子流量計(jì)

晶圓充氮潔凈烘箱

一. 概述

充氮潔凈烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱整機(jī)為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無(wú)塵材料，箱內(nèi)持續(xù)充氮，使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動(dòng)控制，并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制裝置，并附設(shè)有超溫自動(dòng)停電及報(bào)警電路，控制可靠，使用安全。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

二．特點(diǎn)

1、全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵；
2、耐高溫，可以達(dá)到和工作場(chǎng)所同樣的潔凈等級(jí)；

三.技術(shù)參數(shù)

1、主要技術(shù)指標(biāo)

Ø  溫度范圍： RT（室溫）+10～200℃；

Ø  溫度偏差：≤±2.0℃；

Ø  升溫速度：≥2℃/min；

Ø  潔凈等級(jí)：千級(jí)以上

Ø  計(jì)時(shí)功能：具有獨(dú)立的計(jì)時(shí)器，計(jì)時(shí)開關(guān)，計(jì)時(shí)報(bào)警器