半導(dǎo)體光刻烤箱晶圓涂膠烤箱、光刻涂膠用烘箱性能介紹：

半導(dǎo)體光刻烤箱晶圓涂膠烤箱、光刻涂膠用烘箱

是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)。經(jīng)耐高溫高效空氣過(guò)濾器過(guò)濾，使烘箱工作室內(nèi)處于無(wú)塵狀態(tài)。潔凈烘箱工作室為光亮型全不銹鋼結(jié)構(gòu)。工作室內(nèi)溫度采用智能式數(shù)顯溫度控制儀進(jìn)行自動(dòng)控制P.I.D調(diào)節(jié),數(shù)顯時(shí)間控制,并設(shè)有斷路及超溫報(bào)警,操作方便,使用安全。
半導(dǎo)體光刻烤箱，晶圓涂膠烤箱、光刻涂膠用烘箱

可滿足電子電器、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達(dá)350℃-400℃并且可加裝氮?dú)膺M(jìn)出口。

、光刻涂膠用烘箱技術(shù)參數(shù)：      

1．內(nèi)部尺寸：600*500*750（mm） （內(nèi)尺寸可選擇）

2．內(nèi)箱分層：三層

3. 溫度范圍：RT＋10℃～300℃。

4．溫度波動(dòng)：<±1℃。

5．溫度均勻：±2%（空載測(cè)試）。

  依測(cè)規(guī)范：測(cè)SENSOR置放點(diǎn)，離內(nèi)箱壁內(nèi)尺寸1／10處。

6．溫控裝置：高精度P.I.D智能溫控儀表， LED數(shù)字顯示及設(shè)定、P.I.D自動(dòng)演算、時(shí)間定時(shí)。

溫控輸出：SSR輸出，品牌繼電器，固態(tài)繼電器。                    

測(cè)溫裝置：1支PT100 鉑 電阻溫度傳感裝置，測(cè)溫精確。

氣體控制裝置：高效過(guò)濾氣體中微粒。

7．內(nèi)室材料：采用無(wú)磁性鏡面不銹鋼；外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE) 。

8．保溫材質(zhì)：硅酸鋁。

9．特質(zhì)復(fù)合式SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器。

保護(hù)裝置：超溫保護(hù)器，無(wú)熔絲開(kāi)關(guān)。