亚洲天堂视频在线观看_我漂亮的老师2在观整有限中字_歪歪漫画登录页面免费入口看秋蝉_污草莓樱桃丝瓜绿巨人秋葵ios_久久99精品久久久久久青青91

產(chǎn)品中心您的位置:網(wǎng)站首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > HMDS烘箱 > HMDS烤箱 > 增粘劑烤箱,HMDS烘箱
增粘劑烤箱,HMDS烘箱

增粘劑烤箱,HMDS烘箱

簡(jiǎn)要描述:

增粘劑烤箱,HMDS烘箱將HMDS涂到LED、半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

增粘劑烤箱,HMDS烘箱的重要性:

   在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

增粘劑烤箱,HMDS烘箱的主要技術(shù)性能:

  

1設(shè)備名稱

增粘劑烤箱,HMDS烘箱

2、設(shè)備型號(hào)

JS-HMDS90

3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)                                                          

3.1 工作室尺寸

 450×450×450(mm),可自定尺寸

3.2  材質(zhì)

 外箱采用304不銹鋼或優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼

3.3 溫度范圍

 RT+10-250℃

3.4 溫度分辨率

 0.1℃

3.5 溫度波動(dòng)度

 ±0.5℃

3.6 真空度

 133pa(1torr)

3.7 潔凈度

 class 100,設(shè)備采用無(wú)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境

3.8電源及總功率

 AC 220V±10% / 50HZ       總功率約2.0KW    

3.9 控制儀表

 人機(jī)界面

3.10擱板層數(shù)

 2層

3.11 HMDS加液

自動(dòng)加液(可選擇)

3.11真空泵

 旋片式油泵(進(jìn)口無(wú)油干泵)

3.12 保護(hù)裝置

 漏電保護(hù),過(guò)熱保護(hù)

 

 

COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號(hào)-1   

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要經(jīng)營(yíng)優(yōu)質(zhì)的增粘劑烤箱,HMDS烘箱等,歡迎來(lái)電咨詢增粘劑烤箱,HMDS烘箱詳細(xì)資料等信息
地址:上海奉賢柘林工業(yè)區(qū)3213號(hào)