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抗粘 劑氣相涂布烘箱,抗粘劑 氣相沉積系統(tǒng)

抗粘 劑氣相涂布烘箱,抗粘劑 氣相沉積系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:

抗粘 劑氣相涂布烘箱,抗粘劑 氣相沉積系統(tǒng)主要用于納米壓印光刻(NIL)應(yīng)用,防粘涂層的制備,可用于光刻工藝中硅烷涂膠;以及功率半導(dǎo)體,LED,MEMS,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。

抗粘 劑氣相涂布烘箱,抗粘劑 氣相沉積系統(tǒng)的用途:
   在納米壓印工藝中,要求作為壓印膠的聚合物和基底材料之間能有較強(qiáng)的附著能力,這樣才能保證在退模過(guò)程中不會(huì)與基底脫離而導(dǎo)致結(jié)構(gòu)被破壞;同時(shí)聚合物和模板之間應(yīng)有盡可能低的界面能,以防止在退模過(guò)程中因聚合物與模板之間發(fā)生粘連影響壓印質(zhì)量用然可以通過(guò)選擇合適的材料滿足這樣的要求。因此更多的是采用在模板上修飾抗粘層的辦法。
   抗粘劑氣相成底膜烘箱,抗粘劑氣相沉積系統(tǒng)主要用于納米壓印光刻(NIL)應(yīng)用,防粘涂層的制備,可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠;以及功率半導(dǎo)體,LED,MEMS,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
抗粘 劑氣相涂布烘箱,抗粘劑 氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)性能:
容量:1-12寸均可,300*300*300,450*450*450,600*600*600(mm)
硅烷添加劑:1-2種
內(nèi)箱體材質(zhì):316L不銹鋼
氣體輸入:1個(gè)(氮?dú)猓?/span>
工作溫度范圍:80-200/300°C
腔室壓力控制:1tor~100tor
硅烷添加量:2 – 100mL
工藝選擇:可同時(shí)設(shè)定5個(gè)工藝
正常運(yùn)行時(shí)間:> 95%
涂膠原理:氣相沉積法
真空泵:干泵




抗粘劑氣相成底膜烘箱,抗粘劑氣相沉積系統(tǒng)主要用于在納米壓印工藝中,要求作為壓印膠的聚合物和基底材料之間能有較強(qiáng)的附著能力,這樣才能保證在退模過(guò)程中不會(huì)與基底脫離而導(dǎo)致結(jié)構(gòu)被破壞;同時(shí)聚合物和模板之間應(yīng)有盡可能低的界面能,以防止在退模過(guò)程中因聚合物與模板之間發(fā)生粘連影響壓印質(zhì)量用然可以通過(guò)選擇合適的材料滿足這樣的要求。因此更多的是采用在模板上修飾抗粘層的辦法。

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