恒溫?zé)岚澹軣岚暹m用于半導(dǎo)體光刻工藝的前烘和堅(jiān)膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。
恒溫?zé)岚澹軣岚?/strong>概述:
精密熱板用于固化光刻膠,固化環(huán)氧塑脂,掩膜版烘烤,柔性線路檢測(cè),穿戴技術(shù)傳感器校準(zhǔn),可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場(chǎng)合等。適用于半導(dǎo)體光刻工藝的前烘和堅(jiān)膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。
精密熱板特點(diǎn)
結(jié)構(gòu)小巧,精度高;
升溫迅速穩(wěn)定可靠;
透明窗便于觀察。
恒溫?zé)岚澹軣岚?/strong>技術(shù)參數(shù)
整體外形尺寸:以加熱面尺寸而定
加熱面積尺寸:160*160/220*220/350*350定制尺寸
溫度分辨率 :0.1℃
溫度波動(dòng)度:≤±0.5℃
溫度均勻性:≤±0.5%℃
電源輸入:AC220V 50HZ
加熱功率:800W
溫度范圍:RT+5-200/350/450/600℃
加熱面板材料:陽極鋁合金/陶瓷/特種不銹鋼
可定制功能:真空/PIN/充氮/程序烘烤等
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