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HDMS烘箱  HDMS真空烘箱  HDMS預(yù)處理烘箱
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HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預(yù)處理烘箱保護(hù)裝置:緊急停止,HMDS藥液泄漏報&警提示,HMDS低液位報&警,超溫保護(hù),漏電保護(hù),過熱保護(hù)等

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光刻膠HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱
光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱

光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱應(yīng)用多晶硅,石英,太陽能電池片、金屬、貴金屬、藍(lán)寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

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HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統(tǒng)無油泵
HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統(tǒng)無油泵

HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統(tǒng)無油泵較小的噪音 - 一臺干泵卻擁有較好的真空度,較大的抽速 - 停機(jī)時間短,維護(hù)成本更低

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光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預(yù)處理烘箱
光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預(yù)處理烘箱

光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預(yù)處理烘箱就是涂膠前要進(jìn)行增粘處理。由于襯底表面吸水特性,使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結(jié)合良好。未經(jīng)過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。

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HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵 工業(yè)烘箱
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HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵真空干泵具有靜音(50dBA)和低振動運行的, 密封設(shè)計(真空區(qū)與電機(jī)和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內(nèi)氣體環(huán)路;從而消除了油或油脂帶來的污染風(fēng)險。

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HMDS專用烘箱,HMDS真空涂膠系統(tǒng) 工業(yè)烘箱
HMDS專用烘箱,HMDS真空涂膠系統(tǒng) 工業(yè)烘箱

HMDS專用烘箱,HMDS真空涂膠系統(tǒng)適用行業(yè):MEMS、濾波、放大、功率等器件,晶圓、玻璃、貴金屬,SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

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HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機(jī) 工業(yè)烘箱
HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機(jī) 工業(yè)烘箱

HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機(jī)即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布,涂膠工藝的配置機(jī)臺。

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