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silicon wafer HMDS烤箱，HMDS OVEN1、預(yù)處理性能更好 2、處理更加均勻 3、效率高 4、更加節(jié)省藥液 5、更加環(huán)保和安全 6、低液報警裝置 7、可自動吸取HMDS功能 8、可自動添加HMDS功能 9、HMDS藥液泄漏報警功能 10、HMDS緊急疏散功能 11、數(shù)據(jù)記錄打印功能

HMDS鍍膜烤箱，HMDS真空鍍膜系統(tǒng)預(yù)處理性能更好，更加均勻；效率高,一次可以處理多達(dá)4盒的晶片；更加節(jié)省藥液；低液報警、防藥液泄漏等具有很強(qiáng)的安全保護(hù)功能；，有可自動吸取添加HMDS功能，智能型的程式設(shè)定，一鍵完成作業(yè)。

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藍(lán)寶石增粘烘箱， HMDS烘箱將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

HMDS烘箱原理，2-12寸晶圓預(yù)處理烘箱通過對烘箱 HMDS 預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間 等參數(shù)的編輯，可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS，降低了 HMDS 處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量， 提高光刻膠與硅片的黏附性。

將HMDS涂到樣品表面后，經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物，將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷裕耸杷阅蹾MDS烘箱，hmds預(yù)處理烘箱夠很好的與光刻膠結(jié)合，增加了樣品表面與光刻膠的粘附作用。