無塵潔凈烤箱,精密潔凈烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門
光刻膠高溫固化烤箱,半導體高溫烤箱適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業。應用于精密電子元件、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,箱內空氣封閉自循環,經耐高溫高效空氣過濾器(100級)反復過濾,使烘箱工作室內處于無塵狀態。無塵烤箱工作室為不銹鋼結構。
HMDS真空烤箱,全自動HMDS預處理系統通過對烤箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。