六箱體氮氣烘箱,多倉式潔凈烘箱選配功能: 輔助降溫:水冷、風(fēng)冷降溫 操作界面:人機界面+PLC,工控電腦 錄入信息:掃碼槍 監(jiān)測功能:氧含量分析儀等
class100高溫潔凈烘箱,程控式無塵烤箱采用液晶觸摸屏溫度控制器,內(nèi)置曲線查詢、PID自整定、高溫上限報警、運行方式:定值、程式,中、英文操作。
晶圓潔凈烘箱,不銹鋼百級烤箱定制安全裝置漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、 反向保護裝置、內(nèi)襯防火材料、機臺異常蜂鳴器警示、門面安全開關(guān)。