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真空鍍膜機，脫模劑烤箱應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、電子行業(yè)，硅片、石英等納米壓印模板材料。

HMDS烘箱、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

12寸HMDS真空烤箱，芯片HMDS烘箱過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

光刻膠無塵烘箱，電子陶瓷固化烤箱主要應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料等無塵烘干的特殊工藝要求。