真空烤箱 可程式真空箱 自動真空烘箱專為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質(zhì)而設(shè)計,能夠向內(nèi)部充入惰性氣體,特別是一些成分復(fù)雜的物品也能進行快速干燥。
真空無氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)是將涂敷BCB或PI的襯底放入真空無氧烘箱中,通入N2→真空置換后,采用多級升溫保溫的方式,在規(guī)定的時間從室溫升至第一溫度階段,并在該溫度段保溫1-2h,再在規(guī)定的時間從第一溫度升至第二溫度階段,并在該溫度段保溫一定的時間;隨后增通過輔助的降溫系統(tǒng)(水冷和風冷),將退火爐的溫度降至80度左右,完成固化。
小型蒸發(fā)鍍膜儀,實驗室氣相沉積設(shè)備 用于真空蒸發(fā)鍍光學(xué)薄膜、有機物薄膜和金屬薄膜、在襯底上沉積各單層金屬 膜,主要用于蒸鍍電極及有機半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性能研究實驗研究 。特別適合于高科技企業(yè)、科研單位和高校用于膜層研究和膜系開發(fā)。
抗粘 劑氣相涂布烘箱,抗粘劑 氣相沉積系統(tǒng)主要用于納米壓印光刻(NIL)應(yīng)用,防粘涂層的制備,可用于光刻工藝中硅烷涂膠;以及功率半導(dǎo)體,LED,MEMS,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
芯片真空儲存柜,半導(dǎo)體真空氮氣柜半導(dǎo)體、電路板、電子成品、芯片、電池板、電池片、電子元器件、高級金屬制品、厭氧產(chǎn)品、易氧化產(chǎn)品等)及機金屬加工件與各類不便于冷藏的食品,還有書籍、衣物等厭氧物品的真空存貯,以防潮、防氧化變色。適用于工廠、高等院校、科研等場所。
真空儲存柜,真空干燥柜適用于各類化工原料、貴重金屬、金屬粉末等各種固體、粉狀、糊狀、液體,電子產(chǎn)品(半導(dǎo)體、電路板、電子成品、芯片、電池板、電池片、電子元器件、高級金屬制品、厭氧產(chǎn)品、易氧化產(chǎn)品等)及機金屬加工件與各類不便于冷藏的食品,還有書籍、衣物等厭氧物品的真空存貯,以防潮、防氧化變色。適用于工廠、高等院校、科研等場所。
抗粘劑涂膠機,抗粘 劑真空預(yù)處理系統(tǒng)用于半導(dǎo)體,光電、電子行業(yè)硅片或石英硬模板等材料,如制備各種微納電子器件、光學(xué)器件、光電器件、存儲器、微流體通道、生物芯片等微納結(jié)構(gòu)制備方面的應(yīng)用。